機械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點分述如下：

一、變?nèi)菡婵毡?/span>

它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。

1、往復(fù)式真空泵：利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。

2、旋轉(zhuǎn)式真空泵： 利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運動將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類：

(1)油封式真空泵

它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運動部件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。

(2)液環(huán)真空泵

將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉(zhuǎn)時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇?。工作液體通常為水或油，所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。

(3)干式真空泵

它是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。

(4)羅茨真空泵

泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。

二、動量傳輸泵

它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＿@類泵可分為以下幾種形式：

1、分子真空泵 ：

它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：

(1)牽引分子泵

氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量，被驅(qū)送到泵的出口。

(2)渦輪分子泵

靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

(3)復(fù)合分子泵

它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

一、氣體輸送泵包括：

1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)；2、往復(fù)式真空泵；3、旋片式真空泵；4、定片式真空泵；5、滑閥式真空泵；6、余擺線真空泵；7、干式真空泵8、羅茨真空泵；9、分子真空泵；10、牽引分子泵；11、復(fù)合式真空泵；12、水噴射真空泵；13、氣體噴射泵；14、蒸汽噴射泵；15、擴散泵等。

二、氣體捕集泵包括：

吸附泵和低溫泵等。

7、
真空泵的分類

按工作原理分類:

1、氣體輸送泵，包括變?nèi)菡婵毡谩恿總鬏敱?/span>;

2、氣體捕集泵，包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵。

按真空度分類:

1、粗真空度;

2、高真空度，包括滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵;

3、超高真空度。