1、漏油：這是真空泵（EDWARDS真空泵維修）常見的故障之一，主要發(fā)生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機(jī)軸承軸封三個(gè)位置上，其主要原因是真空泵使用時(shí)間過長(zhǎng)而引起這些部位老化，密封失效，從而導(dǎo)致漏油。

解決辦法：更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊，維修完成后，注油前應(yīng)用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網(wǎng)，以保持油箱的清潔。

2、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸。

解決方法：更換旋片和彈簧，并清洗轉(zhuǎn)子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動(dòng)作是否失靈，導(dǎo)致排氣不暢，必要時(shí)應(yīng)更換排氣閥門。

3、真空泵（EDWARDS真空泵維修）不能啟動(dòng)：主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分，如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎?。在排除電路部分的故障后，?yīng)考慮以下兩個(gè)因素：

（1）電機(jī)燒壞。主要為電機(jī)定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機(jī)軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機(jī)功率加大，引起溫度上升，燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承，再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就更換軸承；電機(jī)線圈燒毀則應(yīng)維修電機(jī)，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴(yán)重時(shí)，就需更換電機(jī)了。

（2）旋片卡阻。主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大，致使電機(jī)無法帶動(dòng)旋片。原因是旋片變形，轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張開后不能復(fù)位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導(dǎo)致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大。這時(shí)就應(yīng)及時(shí)修復(fù)旋片和彈簧，若不能修復(fù)則應(yīng)更換。